电子车间净化设计施工
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所谓净化车间,又称洁净车间和无尘车间,是指在一定范围内排除空气污染物,控制温湿度、气流、室内压力和噪声振动的特殊设计房间。广泛应用于电子和食品工业。
平面由工艺决定,电子工业清洁厂的工艺布局应适应电子产品开发的灵活性,满足产品生产工艺转型和扩大生产的需要。
主体结构应采用大空间、大跨度柱网,不应采用内墙承重系统。
大型电子工业清洁厂房常采用上技术夹层、下技术夹层等三明治多层结构。
在不影响清洁生产环境的情况下,应考虑大型生产工艺设备的安装环境的必要运输通道和安装口或维护口。
电子无尘车间按二级耐火等级设计。
特种气体的储存和分配应与无尘车间(区域)分开,耐火极限不小于1H。有毒硅烷或其混合气瓶区域至少三面开放,气瓶与周围结构或围栏之间的距离应大于3M,储存设置的雨篷不小于3.5M。
电子工业无尘车间的装饰材料不得使用对电子产品有影响的材料。
与普通生物无尘车间不同,电子无尘车间允许设置空气吹淋室。吹淋室应毗邻洁净工作服更衣室。单人吹淋室按班30人设计。当工作人员超过5人时,应设置旁门。当人数过多或缩短时间时,也可设置隧道式吹淋室。
对于无尘车间,为了尽可能不影响气流的单向性和平行性,照明灯采用净化泪珠灯。
电子工业无尘车间应根据生产工艺要求设置防静电环境,以抑制静电的产生,快速安全地消除静电。
电子无尘车间对抗微振动有要求,在工厂环境中应避免振动源。
除了一般的给排水要求外,电子无尘车间大型集成电路的用水也有标准。
以上是电子无尘车间的设计要求。
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